世紀新能源網報道(記者張松):近日,國家能源局2010年度國家能源科學技術進步獎評審結果出爐,由北京京運通科技股份有限公司報送的《JZ-460/660多晶硅定向生長凝固爐》研究成果獲得國家能源科學技術進步三等獎。

據了解JZ-460/660多晶硅定向生長凝固爐采用國內先進技術,改良生產工藝,產品設計創新,技術領先,安全可靠,質量穩定;裝料量大,提高了產能;更趨完善的設計使溫場合理,提高良品率;硅液溢流自動保護措施確保設備安全性;應用CP與PLC等控技術,實現全程自動;參數自動存儲結合多種控制模式,增強設備可控性.工藝技術方案要具有先進性和實用性,同時具備良好的安全性和經濟合理性.該產品在單臺產能、裝料數量、硅錠尺寸、熱場控制等方面均超過國外產品。該項爐型的一次性投料將可達460~660KG,此設備在一次性投料重量等指標方面達到世界先進水平,該投料重量水平對于節省單位多晶硅錠能耗具有重要意義。
本成果主要創新內容:
1.多晶硅爐傳動系統 利用三個結實的絲杠連接下腔室和上腔室。撓性的驅動電纜使3個絲杠作同步運動。一個大的直流電機驅動著絲杠上下運動,以打開和關閉下腔室。上腔室頂部有與撓性驅動電纜相連的3個滑動組件,能夠上下移動隔熱層以便控制硅錠的長晶過程。(ZL200820080641.2)
2.熱場控制 熱場用4個石墨板形成一個“正方形”的加熱器,使用加熱元件周圍隔熱層較平坦的元件隔熱。在不銹鋼籠里有兩層隔熱介質,由3個隔熱層提升桿支撐不銹鋼籠。3個石墨桿從下腔室支撐巨大的石墨塊。3個提升桿能上下提升隔熱籠,露出DS-Block底部,從而冷卻下腔室的四壁。這樣熱場內就形成了一個豎直的溫度梯度使硅錠從熔體底部向頂部開始長晶。
3.硅液溢流自動保護技術 在下爐蓋保溫材料上部設置不銹鋼傳感器線,在意外情況下,硅液流出坩堝,從下面隔熱層的開口處流到下面腔室地板上的保護鋁墊上,硅液會熔化鋁墊上的不銹鋼傳感器線,系統自動報警,并實施保護。被鑒處于國際先進水平。
4.SCR控制器調節主變壓器初級繞組的電壓 SCR控制器采用這樣的方式控制SCR:按一定的設定功率比,接通和斷開SCR的功率控制器。例如:設定功率比為30%,在30%的時間內完全接通SCR控制器,在剩下70%的時間內斷開SCR控制器。一般情況下,整個控制循環的設定時間為4秒,所以SCR控制器在1.2秒內接通,在2.8秒內斷開,然后重復這個循環。這種控制能顯著地提高功率的轉換系數和整個系統的有效功率。
北京京運通科技股份有限公司成立于2002年8月8日,并于2008年10月31日改制為股份有限公司,注冊資金3.7億元人民幣,公司總資產達17億元人民幣,是我國真空晶體生長設備(包括軟軸單晶爐、多晶硅鑄錠爐、區熔爐、多晶硅還原爐等)研發制造于一體的專業生產廠家。
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